1、最小可检漏率：即氦质谱检漏仪所能检出的最小漏孔的漏率。
2、响应(清除)时间：指一定流量的探索气体进入氦质谱检漏仪后，电子和真空系统需要一定的响应时间，漏率指示才能达到最大值;反之，停止供气后，漏率指示不能立即回零，需要一定时间的下降过程，通常由于氦气的吸附和脱附作用，清除时间稍长于响应时间。
3、启动时间：指氦质谱检漏仪自接通电源到能进行检漏的时间。