(1)前级真空泵的定期换油及深度保养；(2)电磁阀组的超声清洗；(3)质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的定期保养维护。
检漏仪主要配置：1.
检漏仪德国普发分子泵2.优成机械泵3.渗氦型校准漏孔4.美国AD放大器5.质谱模块6.液晶触摸彩屏7.高性能宽电压主控板