氦检漏仪抽气时间计算

2022-01-10
admin

抽气时间:指从一定压力到所需压力所需的时间:指从大气压到另一个真空泵或真空系统所需的时间,影响抽气时间的因素:
1.开始抽气时的压力和抽气后要求达到的压力2.真空泵的实际抽速3.抽气管路的流导4.真空系统的漏率:5.在低真空时,真空系统的容积6.在高真空时,真空系统材料的放气量氦质谱检漏仪抽气时间计算在低真空下,泵的抽速近似为常量,漏气量很小可以忽略时,真空室从压力户降到P所需的抽气时间t
在低真空下,泵的抽速近似为常数,漏气量很大不能忽略时,真空室从压力P降到P所需的抽气时间t
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